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第一百九十六章 无光刻雷射投影到光源蚀刻再到电子控制电路集成
    晶圆处理区的稳定运行声还在空气中微微震颤,观察窗內最后一轮拋光流程刚刚结束。
    郑飞光紧盯屏幕上跳动的参数。
    “应力分布达標,表面粗糙度0.2纳米——成了!”
    他猛地拍下停止键,熔炉缓缓熄火。
    张海生立刻操作机械臂,泛著金属冷光的45纳米晶圆被轻柔夹起,精准转移至隔壁的雷射微刻蚀系统工位。
    晶圆表面映出头顶无菌灯的倒影,光滑如镜。
    “启动投影编程!”
    郑飞光的声音带著紧绷的兴奋。
    周瑶同步在控制台输入指令,杨辰传来的光子通路三维模型瞬间加载完毕。
    嗡鸣声中,设备顶端的蓝色光源骤然亮起。
    没有实体掩膜板,只有一道悬浮在晶圆上方、由亿万个光点构成的立体神经网络图谱。
    那些交错的光路细如蛛丝,却清晰映射出光子微处理器的核心结构。
    “这就是无光刻?”
    张海生屏息盯著光网。
    某个新人忍不住低呼。
    “光束在自动调整密度!”
    只见投影光点正根据晶圆实时反馈,动態收缩边缘区域的亮度,避免过度曝光。
    “杨主管的算法在补偿曲面畸变。”
    “传统光刻做不到这种实时修正。”
    投影光束持续扫过晶圆。
    当最后一条光路轨跡隱没的瞬间,周瑶的终端弹出提示,投影编程完成。
    晶圆表面看似毫无变化,但郑飞光调出显微监测画面。
    一道比髮丝细万倍的浅层光敏纹路已烙印在硅基底上,如同冰面下的暗痕。
    杨辰的声音突然切入。
    “转蚀刻区。”
    他不知何时已站在蚀刻设备旁,手指悬在启动键上。
    这台方型机器外壳灰黑粗糲,唯一显眼的是顶部碗口大的石英窗口,內部隱约透出紫光。
    “光源充能!”
    郑飞光高喊著拉下隔离闸。
    设备內部传来蜂群振翅般的低频震动,窗口陡然迸发漩涡状紫色流光。
    没有热量辐射,但所有人心头莫名一悸。
    张海生瞥见周瑶终端的数据流,光波频率数值疯狂跳动,远超可见光谱范围。
    “定。”
    杨辰按下启动键。
    漩涡紫光骤然坍缩成一束凝实的射线,穿透石英窗打在晶圆正中央!
    被投影编程標记的区域瞬间气化,刻蚀深度精確至原子层级。
    更诡异的是,蚀刻路径竟沿著早先的光敏纹路自动蜿蜒,仿佛两者存在某种无形纽带。
    “蚀刻光源在跟踪投影標记……”
    张海生脱口而出。
    晶圆表面腾起纳米级的硅尘雾,又被实时抽走的负压气流瞬间捲走。
    紫色光束像一支无形刻笔,在45纳米的战场上凿出第一条光子通路。
    蚀刻区的主光源在完成最后那1%的深度后,如同耗尽最后一丝气力般,光芒极微弱地闪烁了一下,隨后彻底熄灭。
    只剩下冷却系统低沉的嗡鸣持续运转,封闭空间顶部柔和的照明灯自动亮起,將內部映照得一览无余。
    晶圆静静地躺在工作檯上。
    此刻的它,表面不再是纯粹的光滑,无数道精细到微不可见的痕跡纵横交错。
    这些沟壑由无形的刻刀雕琢而出,构成了一个复杂无比的微观通道网络。
    它们是为光子准备的路径,是这座晶片微缩城市里预设的光子大道和神经末梢。
    “蚀刻深度和形態达標,能量逸散控制在安全閾值內。”
    郑飞光长舒一口气,声音里的紧绷感消散了大半。
    刚刚那最后百分之一的精准控制,耗费了他极大的专注力。
    周瑶的手指在控制平板上快速滑动,核对蚀刻区反馈的数据流与设计参数进行最终比对。
    “所有通道几何参数和能量分布与蓝图偏差均在误差许可范围之內。”
    “蚀刻完成度100%,合格。”
    她简洁地报告道,话语是冰冷的確认,眼神却掠过一丝不易察觉的放鬆。
    实验室內紧绷的空气微微鬆动。
    杨辰的目光从蚀刻区观察窗收回。
    那晶圆上承载的、肉眼看不见的沟壑迷宫,正是未来光子在其中奔腾的基础。
    但这光之城还缺少它的血脉和大脑,控制光流的电气网络和逻辑单元。
    “转移至电子电路集成区。”
    杨辰的声音平静地响起,清晰地送入每个人的耳中。
    “准备集成精密度控制电路和基础逻辑模块。”
    这道指令仿佛无形的电流,瞬间激活了整个实验室。
    新人们立刻行动了起来。
    这道指令仿佛无形的电流,瞬间激活了整个实验室。
    新人们立刻行动了起来。
    他们无需更多言语,早已熟悉了流程。
    两人快速上前,按照操作规程解锁蚀刻工作檯的固定装置,另外两人则小心翼翼地操作著连接真空臂的转运托盘。
    如同运送一件薄如蝉翼的珍宝,平稳地滑移、调整方向,然后朝著蚀刻区旁边那片明显不同风格的工作区域移动过去。
    郑飞光快步走向电子电路集成区的主控台。
    周瑶则同步將杨辰刚传送过来的核心资料。
    有关首批基础电子控制电路的布局图、材料参数和工艺流程详细说明,精准地投射到工作檯正上方的视窗屏幕中。
    复杂的线路、微小的触点布局图清晰浮现。
    电子集成工作区早已严阵以待。
    成排细如髮丝的金属导电纳米线束整齐地排开在高纯度惰性保护盒中。
    特製的微型触点材料闪烁著微光,专用的精密点焊工具和能量束投射装置也已经完成了最后的预热校准。
    张海生深吸一口气,在郑飞光的示意下负责操作仪器校准微调旋钮。
    他的眼睛紧盯著辅助显示屏上即將开始的协同操作流程。
    这是他们新人真正深度参与核心工序的第一步,每一个动作都可能影响到最终的成败。
    郑飞光戴上高清微视镜,指尖在主控面板滑动,调出集成系统的能量输出梯度和定位精度调节界面。
    周瑶的声音適时响起。
    “首批导电材料性能参数覆核完毕,匹配度99.8%。”
    “触点结构设计方案已加载至集成设备。”
    “能量场聚焦准备就绪。”
    杨辰站在集成区外稍高的平台上,目光冷静地扫视著这片新的工作区域。