办公室里,林本坚听完了张汝京的叙述,露出了惊喜的笑容:“做出来了?太好了!恭喜她,恭喜他们。”
是的,是恭喜miss王,是恭喜他们,而不是恭喜自己。
因为他从来都不认为自己是浸润光刻的开山鼻祖。
严格来讲,浸润光刻不是多新奇的概念。
1984年日立的员工就曾申请过在镜头和光刻胶间加入液体的相关专利。1985年,perkin-elmer更是申请了镜头浸入水中的专利。
而在1987年,当时就职于ibm的他在公开学术会议上,提出的是将这类技术应用于249纳米光刻焦深的方案。
是的,miss王和她的团队自称是看了他的这篇论文,所以才对浸润光刻产生了兴趣,写邮件给他,希望能得到更多的指点。
但林博士更加相信,他的那篇文章最大的意义是起了一个科普的作用,相当于一个先入门的人给后来者做了点儿介绍而已。
所以现在听到后来者居上,既然已经做出了193纳米波长的浸润式光刻机的实验机,他除了为对方高兴之外,剩下的只有“果然,浸润光刻理论是能从纸面走向现实的”。
其余的,没有了,真的没有了。
张汝京正在一口饼干,一口苏打水。
他也是飞机上睡觉,下了飞机就干活的典范。
整整20几个小时,除了飞机上吃了一餐,他粒米未进,滴水未沾。先前赶路,情绪亢奋,还没什么感觉,现在真是饥肠辘辘。
得亏林博士是个善良的人,把自己的加班口粮贡献了出来。
所以张博士才能好不容易咽下饼干之后,好歹有体力说话了:“现在恭喜说的太早了,他们真的只是实验机,连干式193纳米波长的原型机都造不出来的实验机。所以,burn,你必须得跟我走,你得帮他们。”
林本坚愣住了,下意识地反问了一句:“我帮他们?”
张汝京用力点头:“对!这是一项伟大的突破,它的价值丝毫不逊色于紫外线光刻。”
他之所以特地把紫外线光刻拿出来说,是因为在80年代后期,也就是差不多十来年前,蓝色巨人ibm乃至全球芯片界,一度卯足了劲儿搞x光光刻的研发。
当时就职于ibm华生研究中心的林本坚却提出了不同的看法,认为应该做紫外线光刻。
因为x光的光源难以解决,需要大型粒子加速器提供稳定光源,操作难度系数高,而且很快就会抵达天花板,清晰度没办法继续往上升。
相反的,做紫外线光刻,光源好说,操作简单,提升空间也大。
可他不管怎么向老板申请,甚至主动提出,只要x光项目组的1/10的经费,依然没能获得支持。
这也成为了他最终选择离开ibm的原因之一。
而时间过了十多年,光刻机的发展历程证明了,紫外线才是正确的选择,深紫外光刻机先后推出了248纳米、193纳米等波长的技术,适配了半导体规模化生产的需求。
现在行业又开始推进极紫外(euv)光刻研发。
与此同时,曾经风光一时的x光光刻机已经迅速被边缘化。
张汝京眼睛闪闪发亮:“我敢打赌,十年,很可能只需要五年的时间,浸润式光刻机就会向紫外光打败x光一样,成为新的主流。burn,你又要创造历史了!”
真是让人羡慕呀。
但是被热烈赞叹的人还处于一种懵的状态中,他努力消化着对方热情洋溢的言语,不得不以冷静客观的态度提醒自己的同行:“richard,不是我不愿意参与到这项工作中去,而是我去了能做什么呢?你太高估我的能力了。事实上,除了帮忙找一些资料之外,我自认为没为他们做过什么。”
他摆事实讲道理,“镜头和光刻胶之间的液体选用去离子水,一开始就是miss王自己选的,理由是芯片厂本来就用去离子水。后来因为去离子水会跟光刻胶产生反应,他们为了解决这个问题,确实给我写了邮件,我认为是水中的杂质太多的原因,应该把水中的颗粒、有机物、微生物全部都去除掉,改成超纯水。”
他实话实说,“这大概是我唯一为他们提出的有建设性的意见,而他们也采用了。除此之外,包括让超纯水持续流动的想法也是他们自己想的,理由是流水不腐,户枢不蠹,流动的水才可能洁净。”
这给他造成了不小的震撼,有一种万事万物的道理是贯通的感觉。
他得承认,他很愿意跟这个团队交流,他从邮件中感受到了他们火热的热情。这样的热情,是支撑所有事物发展的根本动力之所在。
可他不觉得自己具备非得加入这个团队不可得的理由,他并不觉得自己进去以后能够带去什么翻天覆地的变化。
张汝京吃惊不小。
他跑光刻机厂的行程匆匆忙忙,压根顾不上问任何细枝末节,自然不知道液体使用水以及使用流动的水的方案竟然是miss王自己提出来的。
科学的进步是多么的奇妙啊,外行反而有的时候会产生一种诡异的直觉,然后神奇地推动了科技的进步。
张博士摇头:“burn,你不该妄自菲薄,所有人都知道你有多优秀。你为ibm工作了22年,你10度获得美国ibm杰出发明奖、杰出优秀奖,你为ibm创造了多项世界第一,你申请的专利不计其数,相关资料堆满了文件柜。”
他认真地看着对方,“你应该知道自己有多优秀,ibm也知道你有多优秀,否则也不会在你离职的时候让你不要去对手公司工作。你就是一枚核武器,你去哪儿都能引起翻天覆地的大爆炸。”
林本坚被他的表情给逗笑了,摇头道:“你太夸张了,太过奖了。”
张汝京可不允许他退缩。
他吃完最后一块饼干,将瓶中的苏打水喝得一干二净,然后直截了当地提要求:“不管你怎么想,我都要你跟我走一趟,亲眼去上海看看浸润式光刻机。我告诉你,我看它做出来的芯片时,我浑身都在发麻,跟通了电一样。我感觉全世界都要发生翻天覆地的变化了,我必须得抓住它,我不能让它错失走掉。赶紧的,我现在陪你回家去拿证件,然后去申请签证,立刻飞上海。”
林本坚做事也不是慢性子,但他属于雅典派,碰上这种斯巴达作风,他整个人都懵了:“richard,我还有工作要做,即便去上海,我也得把事情都安排好。”
“不,所有的事情都请往后面推!”张汝京的表情严肃,甚至到了严厉的地步,作为一个公认的温和派大家长,他这样的神情是很少见的,但他依然表达了自己强硬的态度,“一旦浸润式光刻机彻底研发成功,能稳定供应,将会彻底改变整个半导体业界的发展。”
他自言自语一般,“我就知道应该要突破了,做芯片的工具迎来突破了。这就是最大的突破。burn,既然你相信它会成功,那你就应该见证它的成功。”
他积极地游说,“跟我走吧,burn,他们都非常期待你,但是提都不敢提。因为你以前是给ibm做事的,是大公司,应该看不上他们这样的新人。但我告诉他们,伟大的人是因为自身而伟大,到哪儿都伟大,而不是因为某个平台。burn,上帝告诉我,你事业乃至人生的真正辉煌还没有开始呢,现在必须得开始了。”
林本坚哭笑不得:“richard,上帝会告诉你这些吗?”
张汝京一本正经:“起码你要去看,起码你要看完了再做决定。他们就是一群偏科的学生,短板非常明显,可一旦补上这个短板,上帝呀!上帝都会为你们鼓掌的。”
说着,他真拿出了一种不达目的誓不罢休的精神,硬生生地逼着林本坚跟同事简单交代了工作,然后拿着车钥匙带他回家。
偏偏林本坚是出了名的好脾气,除了技术之争之外,他几乎从来不跟任何人起争执。
现在被比他大几岁的张汝京逼着回家拿证件,又去华夏驻美大使馆申请签证,虽然他感觉非常无奈,但竟然也没坚决反对。
毕竟,他得承认,他也非常好奇,好奇他在上海的同行们究竟做到了哪一步?
上帝啊,他是真的好奇,他们是怎么控制水层的?这需要流体动力学专家的全力跟进吧。
林博士回家拿证件时,他妻子有点担忧:“你真的要去上海吗?你要去多久?”
“不用多长时间,前后最多一个礼拜。”他叹了口气,像是在自言自语,又想是在说服自己,“我总要看看的。”
去华夏大使馆拿签证的时候,大使馆的人只简单地看了看邀请函:“是l字旅游签证?一个月的时间够吗?最长是两个月的时间。”
1999年,没有s2签证。
外国人赴华处理探亲之类私人事务,一般申请的都是l字旅游签证,规定的停留期是30到60天。
张汝京陪着林本坚过来的,赶紧点头回答:“够了够了,他要回去祭祖。”
工作人员没二话,直接盖章过签。
林博士拿到签证还有点无奈,他真不知道该怎么说了,稀里糊涂地竟然变成了回乡祭祖,真是祖宗在上都要骂他的。
这封所谓的邀请函,大概率也是假的。
好吧,不是大概率,是肯定就是!
偏偏上了小轿车之后,张汝京还振振有词:“你要灵活变通,这是最快的。如果要办理f字签证,你得提交合作方的邀约文件、考察行程细则等等一大堆材料,审核流程更繁琐。不过这些还不是重点,重点是你容易被拦着。”
他叹了口气,“今时不同往日啊。”